Verifire? MST多表面測(cè)量

Verifire? MST激光干涉儀提供了一個(gè)****的嶄新的測(cè)量方式和能力，傳統(tǒng)的激光干涉儀應(yīng)用是測(cè)量?jī)蓚€(gè)面的波前變化，也就是說測(cè)量一個(gè)由兩個(gè)面所形成的腔。但是，如果所測(cè)量的是一個(gè)沒有經(jīng)過鍍膜的平行平板，則就會(huì)產(chǎn)生兩個(gè)疊加的干涉條紋（三個(gè)面的腔所形成），這樣就會(huì)干擾標(biāo)準(zhǔn)的位相干涉測(cè)量分析?，F(xiàn)在，ZYGO的Verifire? MST激光干涉儀解決了這一個(gè)問題，通過波長調(diào)制技術(shù)和ZYGO新的傅立葉變換方法，可以進(jìn)行三個(gè)甚至四個(gè)平行面的測(cè)量，不僅可以顯示所有的面，并且可以排除其他的面而單獨(dú)顯示你所需要的面。

三平面干涉測(cè)量

激光干涉儀可以在你的測(cè)量中，只要一次數(shù)據(jù)采集，就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度，同時(shí)還能得到平行平板的光學(xué)厚度：

?前表面形貌圖

?光學(xué)厚度變化

?物理厚度變化和后表面形變

四表面干涉測(cè)量

這一技術(shù)能夠通過兩次數(shù)據(jù)采集得到下列結(jié)果：

?前表面和后表面的形貌圖

?物理厚度變化

?光學(xué)厚度變化

?折射率變化
-非線性材料均勻性
-線性材料均勻性